ノヴァンタ ガルバノ 走査型 レーザスキャナ製品は(一般にはガルバノミラー、ガルバノスキャナとも呼ばれています。)ミラーを高速、高精度に駆動させ、光を走査、位置決めするというユニークな技術製品として、さまざまな光応用分野に利用されています。また、原理、特性の異なるものとして、レゾナントスキャナもあり、用途に応じて使い分けられています。NOVANTA Japan ノヴァンタ・ジャパン

レゾナントスキャナ

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製品紹介
レゾナントスキャナ

レゾントスキャナ

レゾナントスキャナレゾナントスキャナは一般的に共振型スキャナと呼ばれ、取り付けられたミラーを共振運動により走査します。スキャナ内部の速度センサフィードバックと速度クローズドループドライバにより、共振運動を正確に制御することで安定的・再現性の高い振れ角走査を提供します。レゾナントスキャナはガルバノメータ方式では実現できない、8KHz走査まで可能で、比較的大型のミラーを高い周波数で広い振れ角度を走査することが可能です。
GRSシリーズ
CRS Series RoHS

CRSシリーズは Counter Rotating 共振運動設計により、4KHzまたは8KHzで走査するレゾナントスキャナ。ミラーアパーチャは最大10mmまで対応します。速度センサからの速度フィードバックによるクローズドループ機構で、ミラー走査を正確に制御します。速度フィードバックと同期したSYNC信号を出力。システムはSYNC信号を画像取り込みのトリガとして使用します。オプションのピクセルクロックボードでスキャナミラー正弦波走査の均等化補正機能を提供しています。システムはピクセルクロック(RS422インターフェース)を画像取り込みのサンプリングクロックとして使用し、画像の均等化補正を行うことが可能です。CRSシリーズは1/10000以内のScan-To-Scan振れ角走査再現性パフォーマンスにより共焦点画像走査・眼科医療機器などの高解像度画像アプリケーションに使用され、システムの高速・高精細画像に貢献しています。CRSシリーズはRoHS指令に適合し、システムの環境対策をサポートします。

    ■特長 
  • ●4KHzまたは8KHzの高速レゾナントスキャナ
  • ●ミラー有効域
     4KHz:9mm×12mm(楕円)有効
     8KHz:4mm×6mm(楕円)有効
  • ●走査振れ角15° 光学角P-P以上
  • ●速度フィードバッグによるクローズドループ制御により、高い振れ角安定性(<1/10000以内 Scan-To-Scan)を提供
  • ●高速ラスタ走査により、高速・高精細の画像取り込みアプリケーションをサポート
  • ●ピクセルクロックボードにより走査毎のピクセル位置を均等化補正システムのサンプリングクロックをサポート
  • ●摩耗部品が無い長寿命・高信頼性設計
  • ●豊富な市場実績

    ■アプリケーション例 
  • ●共焦点レーザ走査光学機器
  • ●眼科用レーザ医療機器
  • ●光干渉断層イメージング(OCT)
  • ●外観検査・計測
  •  
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アプリケーション画像例
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レーザ走査画像取り込み光学系サンプル
レーザ走査画像取り込み光学系サンプル