ノヴァンタ ガルバノ 走査型 レーザスキャナ製品は(一般にはガルバノミラー、ガルバノスキャナとも呼ばれています。)ミラーを高速、高精度に駆動させ、光を走査、位置決めするというユニークな技術製品として、さまざまな光応用分野に利用されています。また、原理、特性の異なるものとして、レゾナントスキャナもあり、用途に応じて使い分けられています。NOVANTA Japan ノヴァンタ・ジャパン

ガルバノメータスキャナ

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製品紹介
ガルバノメータースキャナ

ガルバノメータースキャナ

ガルバノスキャナは回転軸に取り付けたミラーを高速・高精度に走査あるいは位置決めする光学スキャナ製品。スキャナ内部に搭載された位置センサから位置信号を出力、サーボドライバはその信号をもとにミラー位置が入力指令位置に正確に追従するようモータドライブ制御します。ノヴァンタ グループ製ガルバノメータスキャナは入力ビームーサイズに応じて最適な性能を発揮するよう各種ラインアップしています。

グラフ


TuneMaster
6200Hシリーズ RoHS

6200H シリーズは3mm〜50mmビーム口径用ミラーに最適なガルバノメータスキャナをラインアップ。ケンブリッジテクノロジー独自の光学式ポジションディテクタにより、低ドリフト、低ノイズ、優れた位置再現性を実現。クルーズドループガルバノ製品で世界最小レベルの小型スキャナから大口径ビーム用スキャナまで取り揃え、レーザマーキング、レーザ加工、医療機器、バイオメディカルの幅広いアプリケーションでご使用いただいております。ケンブリッジテクノロジー671、673 または 677 ドライバと組み合わせてユーザアプリケーションの様々な要求に対応します。6200HシリーズはRoHS指令に適合し、システムの環境対策をサポートします。

    ■特長■ 
  • ●アドバンスト ムービングマグネットモータ
     −数100μsecの小角度応答速度
     −高剛性・堅牢設計、高い共振周波数特性
  • ●マイクロラジアンレベルの再現性(短時間)
  • ●アドバンスト 光学式位置センサ
     −スケールドリフト 50ppm/℃ 機械角 以下
     −ゼロドリフト 15μrad/℃ 機械角 以下
     −リニアリティ 99.9% 機械角 以上
  • ●ビーム口径に最適なモデルをラインアップ
  • ●コンパクト設計
      −システムの小型化をサポート
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VM PLUSシリーズ
VM PLUS Series RoHS

VMPLUSシリーズは4mm〜15mmビーム口径用ミラーに最適なガルバノメータスキャナをラインアップ。高剛性・高効率モータの搭載により高速・高ダイナミック性能を実現しました。新開発・低ドリフト光学式ポジションディテクタの採用により、高い位置安定性を提供。より優れた耐ノイズ特性でシステムの高信頼性走査をサポートします。VMシリーズと取り付け寸法互換で、従来のXYマウントにそのまま装着可能です。MiniSAX II サーボドライバまたは Lightningデジタルサーボドライバと組み合わせて、ユーザアプリケーションの様々な要求に対応します。VMPLUSシリーズはRoHS指令に適合し、システムの環境対策をサポートします。

    ■特長■ 
  • ●15mm以下のビーム口径ミラーを高速走査
     VM500+:ビーム口径 4 - 6mm
     VM1000+: ビーム口径  7 - 8mm
     VM2500+: ビーム口径  9 - 15mm
  • ●新開発・低ドリフト光学式ポジションディテクタの採用により、高い位置安定性を提供
  • ●高剛性モータ設計で高いダイナミック性能を提供。アプリケーションの様々な要求に対応
  • ●優れた耐ノイズ特性でシステムの高信頼性走査をサポート
  • ●VMシリーズと取り付け寸法互換。従来のXYマウントにそのまま装着可能。
  • ●RoHS対応
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MPM シリーズ
MPM Series RoHS

MPMシリーズは20-30mm、30mm以上のビーム口径用ミラーに最適なガルバノメータスキャナをラインアップ。第4世代の高剛性・超高効率モータにより、従来困難であった大口径・高イナーシャミラーの超高速化を実現。高剛性設計で高いダイナミック性能を発揮、ユーザアプリケーションの様々な要求に対応します。新開発・低ドリフト光学式ポジションディテクタの採用により、高い位置安定性を提供。より優れた耐ノイズ特性でシステムの高信頼性走査をサポートします。MiniSAX II サーボドライバ または Lightningデジタルサーボドライバと組み合わせて、ユーザアプリケーションの様々な要求に対応します。MPMシリーズはRoHS指令に適合し、システムの環境対策をサポートします。

    ■特長■ 
  • ●20mm以上のビーム口径ミラーを高速走査
     MPM20A : ビーム口径 20-30mm
     MPM30A : ビーム口径 25-30mm, 30mm以上
  • ●従来困難であった大口径・高イナーシャミラーの超高速化を実現
  • ●新開発・低ドリフト光学式ポジションディテクタの採用により、高い位置安定性を提供
  • ●高剛性モータ設計で比類なきダイナミック性能を提供。アプリケーションの様々な要求に対応
  • ●優れた耐ノイズ特性でシステムの高信頼性走査をサポート
  • ●RoHS対応
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6200Hシリーズ用サーボドライバ MicroMAX RoHS

MicroMAX は6200Hクローズドループガルバノメータスキャナに対応したアナログサーボドライバ。1軸・2軸用 Class1 Integrating / Class 0 Non-Integrating サーボドライバをそれぞれのミラーサイズ、スキャナモデルで各種ラインアップ。ユーザアプリケーションごとに異なる要求仕様に対して、最適設定になるよう組み合わせ調整され出荷されます。サーボ性能の要である高度なPID制御と位置制御技術によりガルバノメータスキャナの優れた位置再現性、温度ドリフト性能、高速度走査性能を最大限に引き出します。 MicroMAXシリーズはRoHS指令に適合し、システムの環境対策をサポートします。

TuneMaster

■671xx 1軸用ドライバ
●マイクロラジアンレベルの再現性。                     
●高いサーボ制御周波数を提供                    
●ハイパワーオプション。高デューティアプリケーションをサポート。
●高ディーティラスタ走査アプリケーションに最適。
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TuneMaster

■673xx 2軸用ドライバ 
●マイクロラジアンレベルの再現性。                     
●高いサーボ制御周波数を提供。                
●1台で2軸制御。コンパクト設計。                           
●2軸走査アプリケーションに最適。                             
●マーキング・レーザ加工2軸ベクタ走査アプリケーションに最適。
●低ディーティ2軸ラスタ走査アプリケーションに最適。
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TuneMaster

■677 1軸用小型ドライバ 
●最も小型のドライバ。                                
●先進のクラス0サーボ技術。                         
●小型スキャナに最適設計。                          
●精度・速度を要求しない小型システムのアプリケーションに最適
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MiniSAX II
MiniSAX II サーボドライバ RoHS

MiniSAX II はVMPLUS及びMPMクローズドループガルバノメータスキャナに対応したアナログサーボドライバ。ノッチフィルタ基板及びサーボ調整モジュール基板のモジュラーデザインにより、それぞれのミラーサイズ、ラスタ・ベクタ・ステップ走査等ユーザアプリケーションごとに異なる要求仕様に対して、最適設定になるよう組み合わせ調整され出荷されます。サーボ性能の要である高度なPID制御と位置制御技術によりガルバノメータスキャナの優れた位置再現性、温度ドリフト性能、高速度走査性能を最大限に引き出します。 MiniSAX IIシリーズはRoHS指令に適合し、システムの環境対策をサポートします。

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Lightning ISD
Lightning ISD デジタルサーボドライバ  RoHS

Lightning ISDは2軸高速スキャニングアプリケーション向けデジタルサーボドライバ。先進のデジタルDSPサーボ制御により従来のアナログサーボに比べ約50%以上高いサーボ制御周波数を実現、ガルバノメータスキャナの超高速走査を可能にしました。TuneMasterTM ソフトウェアの使用により、従来マニュアルで行っていたPID(Proportional:比例)(Integral:積分)(Derivative:微分)サーボ調整をさまざまなユーザアプリケーションに合わせて自動調整します。

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TuneMaster
TuneMaster ソフトウェア

TuneMasterTM は従来マニュアルで行っていたPID(Proportional:比例)(Integral:積分)(Derivative:微分)サーボ調整をソフトウェアで自動調整するサポートツールソフトウェア。ユーザシステムのアプリケーション要求性能に合わせ、最適なサーボ周波数特性を自動生成。XY2軸ベクタ走査で必要なXYのマッチング調整を自動調整。均一なサーボ調整を短時間で行うことができ、ユニットごとのサーボ応答性能の一貫性を提供します。

    ■特長■ 
  • ●サーボ調整をソフトウェアで自動調整
  • ●ユニットごとの共振周波数特性を自動測定
  • ●ユーザシステムのアプリケーション要求性能に合わせ、最適なサーボ周波数特性を自動生成
  • ●2軸ベクタ走査で必要なXYマッチング調整を自動調整
  • ●均一なサーボ調整性能により、安定的な光走査を提供
  • ●ユニットごとのサーボ応答性能の一貫性を提供
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Mシリーズ
M Series

ムービングマグネット技術とキャパシティブポジションセンサ技術により、より精度の高いパフォーマンスを実現したガルバノメータスキャナ。Mシリーズは、9〜50mmのアパーチャのミラーに対応し、最大±30度(光学角)の範囲で稼動させる事が可能です。豊富な市場実績を誇るガルバノメータスキャナの世界標準。

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MiniSAXサーボドライバ
MiniSAX サーボドライバ

Mシリーズ及びVMシリーズガルバノメータスキャナに対応したアナログサーボドライバ。ノッチフィルタ基板及びサーボ調整モジュール基板のモジュラーデザインにより、それぞれのミラーサイズ、ラスタ・ベクタ・ステップ走査等ユーザアプリケーションごとに異なる要求仕様に対して、最適設定になるよう組み合わせ調整され出荷されます。サーボ性能の要である高度なPID制御と位置制御技術によりガルバノメータスキャナの優れた位置再現性、温度ドリフト性能、高速度走査性能を最大限に引き出します。オプションの温度制御モジュールを追加し、温度制御機能搭載スキャナをサポートし、優れた位置安定性を提供します。

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スキャンコントローラ
スキャンコントローラは、専用のハードウェアをコンピュータの外部ポートに接続し、ソフトウェアによりスキャンシステムの制御を容易に行えるようにします。また、ソフトウェアのプラットホームもいくつか選択する事が可能です。また、I/Oポートにより、周辺装置の制御、または外部機器との同期をさせることが可能です。ほとんどのコンポーネント製品及びGMAX製品は、お客様独自のD/Aコンバータに対応するため、アナログのコマンド入力インターフェイスを持っています。
SC2000
SC2000 デジタルスキャンコントローラ

SC2000は、独自のDSPアーキテクチャとオンボードフラッシュメモリにより、PCから切り離した単体動作も可能な、2軸スキャニング対応のプログラマブルモーションコントローラ。PCよりRS232プロトコルを経由し、コントロールプログラムをSC2000にシリアル転送して使用します。SC2000上でプログラムコードが実行され、2軸の16ビットのD/Aコンバータから位置指令信号を出力します。12個のI/Oポートによって、レーザやカメラ等の周辺装置を制御したり、外部コントローラと同期したミラー走査を行うことが可能です。小型でシンプルな1枚の基板ハードウェアと所望のソフトウェア環境でユーザのスキャニングシステム開発を効率良く実現させることができ、ユーザシステムの迅速な市場リリースをサポートします。

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